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晶圓代工龍頭廠台積電捐贈三部12吋半導體高階製程開發的化學蝕刻、疊對量測與關鍵尺寸量測設備給工研院;工研院表示,這項12吋高階設備捐贈由即將卸任的經濟部王美花全力促成,將有助提升工研院對產學界的服務量能。台積電技術研發副總經理曹敏表示,台積電是全球最大專業積體電路製造服務公司,提供全世界晶圓製造和技